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释放数据价值

大数据案例

某大型 芯片制造企业良率分析大数据

业务背景

  • 半导体 芯片制造是一个将半导体材料经几千道工序慢慢加工成不同功能芯片的过程,产品的 良率是芯片制造业至关重要的指标。

  • 采用数 据模型对工序中产生的数据进行建模,测试数 据中各参数指标与良率之间的关系,起到改 善工序和提升产品良率的作用。

  • 在大数据平台上,利用诸如相关性分析,回归分析,数据探索技术,聚类分 析等手段对数据进行汇总与分析,为提高 芯片生产的良率提供有价值的信息。

业务需求

  • 良率相关性分析
    良率各个参数与FDC参数相 关性分析良率参数与在线参数相关性分析
  • 最优路径分析
    根据产品的良率数据,确定加 工某种产品的最优路径,每个步骤选用的机台。
  • 腔室参数匹配分析
    根据产 品良率结果数据,确定腔室参数设定,使其向 产出良率较高的腔室靠拢
  • 预防性维护分析
    通过数 据确定维护主要原因预测器件故障避免非计划停机

项目逻辑架构

项目实 施流程和方法论

敏捷式(Agile)实施方法, 融合大数据特点,综合项 目管理和数据分析的最佳实践

数据分析和建模

项目成果

让我们了解您的需求

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